문제
반도체 증착 장비의 회전축에는 공정 공간을 밀폐하는 Seal이 들어갑니다. Seal이 언제 수명을 다하는지 미리 알면 장비가 멈추기 전에 교체를 계획할 수 있습니다. 운전 조건에 따라 Seal의 잔여수명(RUL)을 예측하는 것이 이번 문제입니다.
Seal은 고무 계열 소재라 배합 성분이 많고, 소재 종류마다 데이터가 따로 쌓여 작은 데이터셋이 여러 개인 구조가 되기 쉽습니다. 여기에 장비의 운전 조건이 더해지면서 같은 소재도 쓰이는 환경에 따라 열화 속도가 달라집니다.
TendiLab 솔루션
Seal의 소재 정보와 운전 조건을 함께 입력으로 보고, 시간에 따른 성능 변화와 수명을 예측합니다. 어떤 조건이 열화를 앞당기는지 분석해 교체 시점 판단에 쓸 수 있게 합니다.
달성 KPI
- 운전 조건에 따른 Seal의 잔여수명을 예측합니다.
- 열화를 앞당기는 운전 조건을 찾아 교체 시점 판단에 씁니다.
다음 단계
과제로 선정되어 실무 협의를 거쳐 PoC를 진행하고 있습니다. 결과는 과제가 끝난 뒤 공유하겠습니다.